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硅片端毛晶棒自动画线及检测设备
用于单晶毛棒的外轮廓及表面状态的检测。
设备功能包括:毛棒长度检测、直径检测、晶线检测、扭曲变形检测、缺陷检测等。对接MES系统将相关数据及时交互。
1、检测功能介绍
2、现场的实测数据:
3、现场图片: