NX1C-ID01硅棒内部缺陷检测系统（单机设备）

NX1C-ID01检测系统可实现在线检测硅棒外部晶裂及内部隐裂缺陷，该系统采用特定的机器视觉穿透检测方案，将硅棒放置在相机和光源之间，其中硬件采用高分辨率线扫相机配备高清镜头以及特殊波长的光源。

       设备可检测出1mm以上的硅棒裂纹，同时给出棒长方向的裂纹长度及位置，精确到1mm，可将数据将上传到MES系统，作为返切指导数据。

1、系统性能指标

系统能达到的性能指标如下所示：

2、系统参数信息如下：

3、晶裂检测效果

4、设备布局尺寸

5、设备外形示意